Mikroplasma

Die am Max-Planck Institut für extraterrestrische Physik entwickelte und extensiv getestete, sogenannte Mikroplasmatechnologie (engl.: Surface Micro-Discharge (SMD) Technology) ermöglicht die Herstellung von kostengünstigen, flexiblen und skalierbaren Elektroden [Morfill et al. NJP 2009].

Der Aufbau dieser SMD-Elektroden setzt sich zusammen aus

  • einer durchgängigen Elektrode,
  • einer isolierenden Schicht
  • sowie einer geerdeten strukturierten Elektrode.


Durch Anlegen einer Hochspannung erzeugen Mikroentladungen mit einer Ausdehnung von einigen wenigen Millimetern das Plasma oberhalb der strukturierten Elektrode (Patent „Electrode arrangement for generating a non-thermal plasma“ in Japan, Patentanmeldung „Electrode arrangement for generating a non-thermal plasma“ in Europa, USA und China).

Die SMD-Technologie erlaubt somit durch ihre Flexibilität und Skalierbarkeit die Entwicklung von einerseits kleinen, handlichen, batteriebetriebenen Geräten und anderseits von großflächigen Elektroden für die Behandlung umfangreicher Areale oder Volumina. Die Größe kann somit Ihren Wünschen individuell angepasst werden.

Mittlerweile sind wir zudem in der Lage dünne Plasmaschichten – sogenannte Dünnschichtelektroden – anzufertigen, die mit geringen Spannungen betrieben werden können und folglich die Miniaturisierung vereinfachen. Mit dieser Technologie können innovative sowie kosteneffiziente Produkte für die professionelle Anwendung und den Endverbraucher entwickelt werden. (Patentanmeldung „Elektrodenanordnung und Plasmaquelle zur Erzeugung eines nicht-thermischen Plasmas sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Plasmaquelle“ in Deutschland)

Mikroplasma/